萊伯泰科:計(jì)劃與頭部晶圓企業(yè)合作將質(zhì)譜儀輻射至半導(dǎo)體上下游單位 助力我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展
e公司 · 2024-07-18 10:47 來(lái)源:證券時(shí)報(bào)·e公司
e公司訊,萊伯泰科今日官微消息,隨著我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,質(zhì)譜儀作為芯片制造過(guò)程中的關(guān)鍵檢測(cè)設(shè)備,其國(guó)產(chǎn)替代意義重大。目前,萊伯泰科與國(guó)內(nèi)頭部晶圓企業(yè)建立了合作關(guān)系,計(jì)劃將LabMS 5000電感耦合等離子體串聯(lián)四極桿質(zhì)譜儀輻射到半導(dǎo)體上下游產(chǎn)業(yè)單位。萊伯泰科質(zhì)譜研發(fā)部產(chǎn)品經(jīng)理王娟表示,團(tuán)隊(duì)將針對(duì)行業(yè)特點(diǎn)開(kāi)發(fā)濕電子化學(xué)品、實(shí)時(shí)在線晶圓中超痕量元素等分析方法,為半導(dǎo)體制程中的質(zhì)量控制提供技術(shù)支撐,助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。
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